探测

根据电子测试，探头可分为：A。光电路板测试探头：元件安装前的电路板测试和开路及短路检测探头。
国内大多数探针产品都可以替代进口产品; B.在线测试探头：安装PCB元件板后的探测探头;高端产品的核心技术仍掌握在外国公司手中。国内一些探针产品已成功开发，可替代进口探针产品; C，微电子测试探针：晶圆测试或芯片IC测试探针，核心技术仍掌握在国外公司手中，国内厂商积极参与研发，但只有一小部分成功生产。
探头可根据主要类型进行分类：悬臂探头和垂直探头。悬臂探头：叶片类型和环氧树脂类型垂直探头：垂直类型电子探头有三种基本操作模式：点分析，用于选择点的全光谱表征。
分析或定量分析，以及其中所含元素的定量分析;线分析用于显示元素沿选定线的浓度变化;表面分析用于观察所选微区域中元素的浓度分布。根据莫斯利定律，各种元素的特征X射线具有自己确定的波长。
通过检测这些不同波长的X射线来确定样品中包含的元素，这是电子探针定性分析的基础。可以通过将测量的样品与标准样品中元素Y的衍射强度进行比较来进行电子探针的定量分析。
当然，由电子束激发的X射线用于元素分析，条件是入射电子束的能量必须大于元素原子的内电子临界电离激发能。电子探针可以对样品中微小区域（微米）的化学成分进行定性或定量分析。
可以执行点线扫描（以获得层组分分布信息）和表面扫描分析（以获得组分表面分布图像）。批量（预设9999个测试点）定量分析也可以自动进行。
由于电子探针技术具有操作快速简便（相对复杂的化学分析方法），实验结果直观解读，分析过程无损坏，测量精度高等优点，属于冶金，地质，电子等领域。材料，生物学，它越来越多地应用于医学，考古学等领域，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。
电子探针也称为微区X射线光谱分析仪和X射线微量分析仪。原理是使用聚焦的高能电子束轰击固体表面，使轰击元件激发特征X射线，并根据其波长和强度定性和定​​量化学分析固体表面微区。
它主要用于分析固体材料表面的细小颗粒或微小区域，最小范围直径约为1μm。分析从原子序数3（锂）到92（铀）的元素。
绝对灵敏度可达10-14至10-15g。近年来，已经形成了扫描电子显微镜 - 微量分析仪的组合装置，其可以在观察微区域的形态的同时逐点分析样品的化学组成和结构。
广泛用于地质，冶金材料，水泥熟料研究等部门。